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SEMOZON? AX8585 用于先進工藝的獨立臭氧輸送系統

發布日期:2022-08-30  瀏覽次數:

SEMOZON? AX8585 獨立式臭氧氣體輸送系統是圍繞 AX8410 PRIME 臭氧發生器設計的,可提供高流量、高濃度、超潔凈的臭氧產生和輸送。這條完全可配置的產品線旨在滿足半導體行業不斷變化的需求。每個 SEMOZON AX8585 都是一個完全集成的高輸出臭氧氣體輸送系統,旨在用于越來越多的半導體工藝應用,例如 ALD、CVD、TEOS/臭氧 CVD、光刻膠剝離、晶片清潔、污染物去除和氧化物生長。

特點

完全集成的交付系統可實現快速、輕松的安裝和快速啟動,所需的連接少

支持單個或多個工藝工具,以實現高效率和更低的運營成本

模塊化設計允許每個通道進行過程匹配以獲得大的靈活性

閉環濃度控制提供更嚴格的過程控制以提高產量

帶有觸摸屏的用戶友好型控制器為與工具連接、設置臭氧濃度和流速以及安全監控提供了簡單的中央控制

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規格

類型:臭氧氣體輸送系統

臭氧輸出:375g/Nm 3

流量:每臺發電機 22.7 lpm (6.0 gpm)

原料氣:氧氣、氮氣(總流量的 100 - 1000 ppm)

原料氣供應壓力:O2 壓力 55 ±2 psig (379 ±13.5 kPa, 3.8 ±0.14 kg/cm 2 ), N2 壓力 60 ±2 psig (413 ±13.5 kPa, 4.12 ±0.14 kg/cm 2 )

原料氣純度:氧氣:6 級或更好的 O2,氮氣:5 級或更好的 N2

工作溫度:5 - 40°C (41 - 104°F)

所需冷卻水溫度:5 - 25°C (41 - 77°F)

需要冷卻水過濾:100微米

所需的冷卻水質量:3 - 0.5 MΩcm DI

所需的冷卻水 很小流量:每臺發電機 22.7 lpm (6.0 gpm)(取決于配置)

需要冷卻水連接:1 英寸壓縮 (Swagelok?)

所需冷卻水熱負荷:每臺發電機 11 千瓦

電壓要求:208 伏交流電 (±10%),三相

頻率:50/60 赫茲

排氣流量:每臺發電機 70.8 l/s (150 cfm)

排氣類型:SEMI 類別 4(危險氣體或蒸氣的意外或緊急釋放)

排氣靜壓: 很小 3.05 毫米(0.16 英寸)H2O,在機柜管道入口處測量

控制氣壓:70 - 100 磅/平方英寸(483 - 689 千帕)

控制空氣類型:CDA 或干燥氮氣,40μ 過濾

控制空氣接頭:0.25 英寸壓縮 (Swagelok?)

排氣連接:8 英寸直徑的管道開口

尺寸:28.4 x 81.7 x 41.4 英寸(722 x 2074 x 1051 毫米)(寬 x 高 x 深)

相對濕度:30 - 90%(非冷凝)

重量:345 kg (760 lb) 用于帶一臺發電機的系統

遵守:CE、UL/CSA、半 S2、半 F47

高度: 很高高于平均海平面 1000 m (3280 ft)


標簽:SEMOZON