紫外臭氧清洗工作原理：
清洗設備的核心是低壓石英汞燈，產生254和185nm范圍的紫外線。臭氧和等離子氧氣產生，有機污染物分子在吸收254nm波長紫外線后被激發或分解。激發的有機污染物可以和等離子氧原子反應形成氣體，比如CO2,H2O等。整個過程在室溫**發生，并且只需要1到幾分鐘完成。
*注1：白色氧化鋁暴露在UV能量下會變黃。這種現象是由于基材吸收UV能量， 而不是一種涂層。這種氧化鋁在加熱情況下會轉化為他原來的顏色。
**注2：清洗元件溫度的上升取決清洗過程的時間長度。在大多數應用，元件溫度可以視為室溫。 UV紫外臭氧清洗的特點:
· 超潔凈表面
· 室溫操作
· 快速－大多數應用10分鐘內可完成
· 運行簡單
· 超低采購成本和zui小運行成本
· 10×10 英寸（25.4×25.4cm）
· 220伏
T10X10紫外臭氧清洗機是一款臺式的紫外臭氧清洗設備。通過紫外線（185nm和254nm）和臭氧清洗基材表面，能夠簡單，經濟，快速獲得超潔凈表面。能去除大多數無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁*等）上的有機污染物。特別是當基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時，紫外清洗非常理想。獲得超潔凈的表面，只需要在傳統清洗后，再用紫外臭氧清洗幾分鐘。
 T10X10紫外臭氧清洗機的屬性：

UVOC紫外清洗機
	Model
型號	T10x10/OES
光照尺寸	10" x 10"（25.4×25.4cm）
有效面積:	100 sq. in.
寬:	14"
深:	23 3/4"
高:	14.5"
托盤推出深度:	33"
滑行托盤:	1
結構:	箱體和托盤為不銹鋼結構
功耗:	110Vac / 60Hz 5A Max  or 230Vac / 50Hz 2.5 amp Max
臭氧排氣系統:	有臭氧排氣系統
排氣口尺寸:	3" 直徑
排氣需要:	100cfm
定時器:	在開始或結束時峰鳴
"ON"指示器:	有	有